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테크네 ・ TEKHNE
HALO3
표준형 미량 분석계
HALO3 標準型微量分析計
- 고순도 가스 중의 ppm·ppb 측정
- 일산화탄소 (CO2), 암모니아 (NH3), 메탄 (CH4), 불화수소 (HF), 염화수소 (HCl), 이산화탄소 (CO2), 포름 알데히드 (CH2O), 중수소 (D2O, HDO), 수분 측정
- 고순도 반도체 가스
- 심냉 분리 플랜트
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