TEKHNE MBW973-SF6 경면냉각식 노점계
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TEKHNE MBW973-SF6 경면냉각식 노점계
TEKHNE MBW973-SF6 COOLED MIRROR DEWPOINT METER
- 스팟 체크용
- SF6 가스 내 이슬점 관리
- 가스 변압기·가스 차단기
- 가스 절연 개폐 장치
- 반도체·액정 패널의 건식 에칭 공정
- SF6 가스 회수 재활용
- 변압기/가스 차단기의 SF6 순도·노점 측정
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테크네 ・ TEKHNE
MBW973-SF6
경면냉각식 노점계
MBW973-SF6 COOLED MIRROR DEWPOINT METER
환경에 좋은 계측기
SF6(육불화황)가스는 교토의정서에서 삭감목표가 정해진 온실효과가스이며, 단위체적당 CO2 대비 약 23,400배의 온실효과가 있다고 합니다. SF6 가스는 차단기·변압기나 반도체 프로세스 등에 절연가스로 사용되며, 그 절연도를 유지하기 위해 수분·SF6 순도의 측정은 필수 불가결합니다.
한편, 지금까지는 측정시에 대기 방출을 하는지, 방출하지 않고 코스트를 곱해 회수·분해를 실시하는 것이 일본에서는 일반적으로 행해져 왔습니다. MBW973-SF6을 사용하면 측정한 SF6 가스를 대기 방출하지 않고 그대로 원래의 기기로 되돌릴 수 있어 대기 방출을 제로로 할 수 있습니다.
고정밀 측정
지금까지, 요구의 용이성으로부터 정전 용량식이 일반적으로 사용되어 왔다. 한편, MBW973-SF6는 이슬점·순도 쌍방의 측정에 있어서 고정밀도의 미러식을 채용하고 있어, 각±0.5℃, 0.5%의 고정밀도의 측정을 응답 빠르고, 또한 경년 열화도 적게 실시하는 것이 가능 입니다. 본 기기를 사용함으로써 오퍼레이터의 작업 시간을 대폭 단축하고 신뢰성 있는 측정을 실시하는 것이 용이하게 가능합니다.
SO2 측정 옵션
SF6 가스는 수분과 반응하여 HF 가스, SO2 가스 를 정제합니다. MBW973-SF6에서는 0~100ppm 또는 0~500ppm의 범위에서 SO2 를 측정할 수 있습니다. 센서는 전기화학식 셀을 사용하여 풀 스케일의 ±2%의 정확도로 측정이 가능합니다.
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환경에 좋은 계측기
SF6(육불화황)가스는 교토의정서에서 삭감목표가 정해진 온실효과가스이며, 단위체적당 CO2 대비 약 23,400배의 온실효과가 있다고 합니다. SF6 가스는 차단기·변압기나 반도체 프로세스 등에 절연가스로 사용되며, 그 절연도를 유지하기 위해 수분·SF6 순도의 측정은 필수 불가결합니다.
한편, 지금까지는 측정시에 대기 방출을 하는지, 방출하지 않고 코스트를 곱해 회수·분해를 실시하는 것이 일본에서는 일반적으로 행해져 왔습니다. MBW973-SF6을 사용하면 측정한 SF6 가스를 대기 방출하지 않고 그대로 원래의 기기로 되돌릴 수 있어 대기 방출을 제로로 할 수 있습니다.
고정밀 측정
지금까지, 요구의 용이성으로부터 정전 용량식이 일반적으로 사용되어 왔다. 한편, MBW973-SF6는 이슬점·순도 쌍방의 측정에 있어서 고정밀도의 미러식을 채용하고 있어, 각±0.5℃, 0.5%의 고정밀도의 측정을 응답 빠르고, 또한 경년 열화도 적게 실시하는 것이 가능 입니다. 본 기기를 사용함으로써 오퍼레이터의 작업 시간을 대폭 단축하고 신뢰성 있는 측정을 실시하는 것이 용이하게 가능합니다.
SO2 측정 옵션
SF6 가스는 수분과 반응하여 HF 가스, SO2 가스 를 정제합니다. MBW973-SF6에서는 0~100ppm 또는 0~500ppm의 범위에서 SO2 를 측정할 수 있습니다. 센서는 전기화학식 셀을 사용하여 풀 스케일의 ±2%의 정확도로 측정이 가능합니다.
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