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비카 ・ WIKA
WUC-10 & WUC-15 & WUC-16
초고순도 변환기
WUC-10 & WUC-15 & WUC-16 Ultra high purity transducer
- 적용 분야
- 반도체, FPD 디스플레이, 광전지 산업
- 초순도 유체 및 스페셜 가스 시스템(VMB, VMP, 가스캐비닛, BSGS, C-번들, 전구체)
- 주요 특징
- 콤팩트 디자인
- ATEX zone 2 및 IECEx zone 2 인증
- 0점 조절 기능이 있는 IP67
- EMC 안정성
- 활동적인 온도 보상 범위
- 제품 설명
- 소형 사이즈
WUC-1X제품은 고객의 설치 환경에 따라 설치 공간을 여유롭게 할 수 있는 공간 절약형 디자인이 가미된 제품입니다.
WUC-15 및 WUC-16 모델은 자가배수 (self-draining) 특성에 대해 주목할 만한 제품이며, 고객의 프로세스 디자인에 맞춰 용접 이음방식 및 특수 커넥션 디자인으로 압력 센서의 출력값에 영향을 주지 않도록 제작될 수 있습니다.
- 다목적성
WUC-1X의 높은 IP 67등급 사양은 외부에 설치되거나 가혹한 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
WUC-1X 시리즈 제품들은 방폭 사용 환경 zone 2에 적합하게 개발되었으며, PH3 와 같이 자기 점화 온도가 낮은 유체에도 사용가능하도록 제작되었습니다.
- 신뢰감
여러가지 사용환경에 따라 유체의 온도 변화 및 설치 주위 온도 변화가 발생할 수 있으나, 활성화된 온도 보상 회로가 온도의 변화를 감지하고 그 영향을 최소화합니다.
제품 측면에 위치한 영점 조정 기능을 통해 IP67등급은 영구적으로 유지되며, 간단한 조작으로 의도하지 않은 영점 조정 현상을 보호할 수 있습니다.
유체가 직접 닿는 부분의 재질은 316L VIM/VAR 재질이며, 특히 센서는 2.4711/UNS R30003 재질로 제작됩니다. 최종 제품 조립 전에 모든 유체가 접촉하는 부분 는 EP처리가 되며 최첨단 공정을 이용하여 클리닝됩니다.
생산 공정 중 각각의 반도체용 압력센서는 SEMI™ 규격에 따라 누수 테스트, 과압 테스트, 정확도 테스트, 파티클 테스트의 과정을 반드시 거칩니다.
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- 초순도 유체 및 스페셜 가스 시스템(VMB, VMP, 가스캐비닛, BSGS, C-번들, 전구체)
- 주요 특징
- 콤팩트 디자인
- ATEX zone 2 및 IECEx zone 2 인증
- 0점 조절 기능이 있는 IP67
- EMC 안정성
- 활동적인 온도 보상 범위
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WUC-1X제품은 고객의 설치 환경에 따라 설치 공간을 여유롭게 할 수 있는 공간 절약형 디자인이 가미된 제품입니다.
WUC-15 및 WUC-16 모델은 자가배수 (self-draining) 특성에 대해 주목할 만한 제품이며, 고객의 프로세스 디자인에 맞춰 용접 이음방식 및 특수 커넥션 디자인으로 압력 센서의 출력값에 영향을 주지 않도록 제작될 수 있습니다.
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WUC-1X의 높은 IP 67등급 사양은 외부에 설치되거나 가혹한 환경에서도 사용할 수 있도록 설계되었습니다.
WUC-1X 시리즈 제품들은 방폭 사용 환경 zone 2에 적합하게 개발되었으며, PH3 와 같이 자기 점화 온도가 낮은 유체에도 사용가능하도록 제작되었습니다.
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여러가지 사용환경에 따라 유체의 온도 변화 및 설치 주위 온도 변화가 발생할 수 있으나, 활성화된 온도 보상 회로가 온도의 변화를 감지하고 그 영향을 최소화합니다.
제품 측면에 위치한 영점 조정 기능을 통해 IP67등급은 영구적으로 유지되며, 간단한 조작으로 의도하지 않은 영점 조정 현상을 보호할 수 있습니다.
유체가 직접 닿는 부분의 재질은 316L VIM/VAR 재질이며, 특히 센서는 2.4711/UNS R30003 재질로 제작됩니다. 최종 제품 조립 전에 모든 유체가 접촉하는 부분 는 EP처리가 되며 최첨단 공정을 이용하여 클리닝됩니다.
생산 공정 중 각각의 반도체용 압력센서는 SEMI™ 규격에 따라 누수 테스트, 과압 테스트, 정확도 테스트, 파티클 테스트의 과정을 반드시 거칩니다.
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