GFS™는 진정한 1차 질량 흐름 표준을 제공하고 흐름 제어 시스템에서 낮은 가스 질량 유량의 기본 측정을 실용적으로 만듭니다. GFS 기본 질량 유량 측정은 가스 유량 컨트롤러 및 기타 가스 유량 제어 장치 교정에 사용되는 molbloc-L 및 molbloc-S와 같은 정밀 전송 표준의 독립적인 계측 지원을 위해 매우 낮은 불확실성 값을 제공합니다.

• 다양한 가스(10 sccm ~ 10 slm N2)에서 0.2 ~ 200 mg/s 범위를 커버합니다.
• 지원되는 가스 : 비부식성 · 무독성 가스
• 판독값의 ± 0.013 %로 낮은 유량 측정 불확도
• 최대 출구 압력 : 650 kPa 절대
• 질량 및 시간 측정을 사용하는 기본 중량 측정 원리
• 자동화된 무인 운영 가능